陈宝钦

一、人物介绍

陈宝钦，男，82岁，中共党员，毕业于北京大学物理系，中国科学院微电子研究所研究员、教授。兼职中国科学院大学教授、全国半导体设备与材料标准化技术委员会微光刻分委会秘书长。从事微光刻与电子束光刻技术研究。陈宝钦教授亲历中国光刻技术发展六十年，践行他年轻时许下的诺言：要健康为祖国工作五十年，他做到了。在这几十年中，他坚持做好每一件简单而平凡的事,坚守着微电子微光刻阵地,为微电子科技攀登事业背了一辈子氧气瓶,沉淀下了厚实的人生。正如其言，从青年时代到耄耋之年，参与到了诸多微光刻技术研究中，将自己的研究经历总结为一辈子就干一件事：光掩模制造与光刻技术，见证了中国微电子技术特别是光刻技术的从无到有的发展整个过程。

二、事迹介绍

陈宝钦年轻时，为了响应毛主席关于青年知识分子要向工农兵学习的号召，到环卫工人时传祥那里一起背大粪，到北京市昌平县南口镇高崖口溜石港大队与山区农民同吃同住同劳动，到东北辽宁省海城3174部队农场劳动锻炼……。最脏、最苦、最累、最危险的活都干过，所有的这些磨炼都给自己的人生留下了丰富的精神财富。而且陈宝钦老师还说，他这一辈子还有一个最有意思、最有意义的最，就是从事了一辈子半导体、微电子、微光刻、电子束光刻、微纳米加工技术的科研工作及培养研究生和青少年科普工作。

青年陈宝钦(左三)与时传祥合影

背一辈子“氧气瓶”

“我们这一代人年轻时既有当科学家工程师的理想，也都树立过这样的志向：甘当攀登科学高峰征途上背氧气瓶的营员;甘为祖国建设大业中的铺路石子和一砖一瓦;甘做国家伟大工程中一颗永不生锈的螺丝钉;弘扬甘为人梯、奖掖后学的育人精神! ”陈宝钦这么说，也是这么做的。从微米到纳米、从光学到电子束、从指导学生到科普教育，陈宝钦亲历了光刻技术发展六十年。

微电子芯片制造技术是世界加工技术的珠穆朗玛峰，攀登科学高峰需要“氧气”，而陈宝钦甘愿做那个背“氧气瓶”的人。在微光刻尤其是电子束光刻领域，他和我国一批从事微纳米加工技术的科技工作者一道，为能完美实现更小尺寸而不断努力。

从手术刀人工刻出最细线条0.2毫米，到采用传统光学光刻0.5微米;从1K、4K、16K、64K、1M，到超大规模集成电路;从1微米级传统光学光刻，到100纳米移相掩模曝光实验，直到现在采用电子束光刻系统直写10纳米，能找到5纳米(电子束加工极限)。陈宝钦这一辈子就干一件事：光掩模制造与光刻技术。

陈宝钦研究集成电路板

为祖国健康工作50年

陈宝钦年轻时承诺：“要健康地为祖国工作五十年!”他做到了，同样付出了代价。

1963年，他跟随劳动模范时传祥一起背大粪，每周末从北京大学步行三小时至龙潭湖，在寒冷的冬天，把装有百八十斤粪汤的大粪桶摇上粪车，一失手，大粪桶从头上扣下来，他意外被粪车铁摇棒打断了两颗门牙。

1965年，他参加“四清”工作队，吃了两年树叶，体重只剩下96斤。

1970年，他负责电子束蒸发工艺，蒸发台发生X射线泄漏，检测仪检测时爆了表。经估算，他承受了超过两辈子允许的伦琴射线积累剂量。果不其然，医院检查结果显示其造血功能受到严重损伤，白血球剩下1100，体温不到36摄氏度，脉搏不到50，血压只有60/90，其他血相全部偏低。他凭借自身强大的修复功能，花了30年各血项指标奇迹般地全部恢复正常。

陈宝钦说：“无论是掏大粪、还是吃树叶、还是劳动改造，还是当一个共产党员、还是做科研工作者、还是当教师、还是干社会工作，任何简单和平凡的事情都要认认真真把它搞好，就是对社会有贡献有价值的。” 陈宝钦说：“我是一个老共产党员，要用简单而平凡的点点滴滴实践出自己厚重的人生，要无愧于《共产党员》这个称号!我们每个共产党员最基本的就应该做到爱党、爱国、爱民、敬业、廉洁、奉公，必须的!只有这样我们的党才能永远兴旺发达，我们的民族才能昂首屹立于世界民族之林，不受欺辱。”

做科普，乐在其中

桃李不言，下自成蹊。作为一个教授和博士生导师，陈宝钦却自嘲“远看像捡破烂的，近看原来是中科院的”。他日常穿着几十块钱的衣裤，物质上无所求，却将钱无利息、无条件、无限期、无借条借给留所工作的学生，前后共支持十余名学生在京落户买房，以解决后顾之忧。

“魔方是一种非常好的现代科学教具。”陈宝钦喜欢研究魔方，并用通俗易懂的语言总结出一套套技巧和公式以及一整套魔方与科学的教程，从小培养孩子探索钻研精神和挑战自我不服输的精神。成都七中一学生聆听完有关“微电子技术及魔方为例谈学习方法”为题的精彩讲座后，留言道：“陈爷爷丰富的人生经历与神奇的魔方知识，使在座的我们受益匪浅，让人不禁在心中升起一团想要接替优秀前辈、报效祖国的热火。”

陈宝钦(左一)教授学生魔方还原方法

做微电子科学技术“播种机”

虽已至耄耋，陈宝钦的精力和心态依旧年轻。陈宝钦的日程表，被《微电子制造工艺与装备技术》课程和微电子相关科普讲座填得满满当当。他每年在全国各地开展近百场义务科普讲座，自带“干粮”，自掏腰包，乐此不疲。

在中国科学院第三幼儿园为小朋友作《微电子与太空探索》的科普讲座后，一位四岁的小朋友拉着他的手亲昵地喊陈爷爷，“我是您的铁粉”。这位小朋友的母亲事后反馈，孩子回家后念念不忘陈爷爷的讲座，说要听陈爷爷的话，努力学习，将来考上国科大，考微电子学院的研究生，将来好接替陈爷爷研究微电子科学!陈宝钦知晓后深受触动。

科学梦想的种子不经意间播撒进孩子的心田，一次寻常讲演潜移默化中有可能改变了一个学生的人生。每每看到孩子们眼里迸射出的亮光，陈宝钦心底油然而生满满成就感。他说，大学生和研究生是中国微电子2030年前的主力军，幼儿园的娃娃是中国2050年的主力军，微电子方面缺人才近百万，微电子科普要从娃娃抓起，希望将来在他们中间能成长出微电子科技工匠!